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小型高频等离子表面处理设备

发表时间: 2020-11-20 14:52:16

作者: 深圳市金徕技术有限公司

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小型高频等离子表面处理设备

 操作性·功能
1 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。
2 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。
3 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

 安全性·保护
1 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。
2 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。

 产品优势
1 等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
2 对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。
3 等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
4 高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
5 特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗

小型高频等离子表面处理设备
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