深圳市金徕技术有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co., Ltd.

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小型实验型真空等离子清洗机 5L

产品型号:JL-VM05


产品功能:

对材料表面进行清洁、活化、改性。

提升材料表面润湿性,亲水性;

增强材料表面粘接力、附着力。

硅片、金属铜箔铝箔、有机玻璃、塑胶橡胶、高分子材料、PTFE、PCB等材料表面的清洁、处理,增强亲水性、粘接力。



产品参数


外观参数

外形尺寸

650*400*500 (宽*高*深)

  

55KG




等离子发生器系统

  

13.65MHz 射频


  

300W (连续可调,精度为1W)




真空系统

真空腔体

材质

石英


腔体内部尺寸(MM)

φ155*260(直径*深度)


腔体容积

5 L


密封性

军工级焊接密封

真空泵

油泵/干泵

处理温度

60°C


流量计

浮子流量计


气路控制

2路处理气体气路,气体流量可调

真空度

10Pa --100Pa


工艺气体

Ar、NCFOH等(可选)



产品特点


  • 实验型小巧灵活、操作简单、易维护。
  • 金徕核心等离子技术,质量有保障。
  • 触摸屏操作界面,数字及图标多重工艺参数实时显示。
  • 针阀精密流量控制计,精度高。
  • 316不锈钢材质,耐腐蚀,环保不产生金属污染。
  • 多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。
  • 可以根据客户需求定制。



等离子清洗应用领域




等离子清洗作用



 清 洗  去除材料表面物/颗粒/脏污物/氧化物、有机物,增加洁净度,提升亲水性、增强粘贴力;
 活 化  将活性基团加入材料表面分子链中提高材料表面能,增加亲水性与活性;

 改 性  保持材料或制品原性能的前提下,赋予其表面新的性能,如亲水性、生物相容性等;

 除 胶  去除光刻胶、电路板去胶,除胶渣,提升材料表面的亲水性、附着力、粘接力;

 刻 蚀  ICP硅刻蚀、CCP介质刻蚀、金属刻蚀,实现各向异性刻蚀,保证细小图形转移后的保真性;



小型实验型真空等离子清洗机 5L

产品型号:JL-VM05


产品功能:

对材料表面进行清洁、活化、改性。

提升材料表面润湿性,亲水性;

增强材料表面粘接力、附着力。

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