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小型真空等离子体处理设备

JL-V系列小型真空等离子机
产品编号:JL-V系列
产品型号:JL-V02/JL-V05/JL-V10
腔体大小:2L/5L/10L
产品分类:小型真空等离子机
主要适用于:小规模生产、科研及医学等领域

JL-V系列小型真空等离子机

产品编号:JL-V系列

产品分类:小型真空等离子机

主要适用于:小规模生产、科研及医学等领域

产品型号:JL-V02/JL-V05/JL-V10



型号

JL-V02

JL-V05

JL-V10

腔体材质

material

SUS316

SUS316

SUS316

容量

volume

2L

5L

10L

外形尺寸

layout

560*550*550

560*550*550

660*700*600

腔尺寸

cavity size

D100*270

D150*270

D200*270

电源频率

Power frequency

40KHz(13.56MHz)

40KHz(13.56MHz)

40KHz(13.56MHz)

真空度

vacuum

5~100Pa

5~100Pa

5~100Pa

气体流量

Gas flow

60~600ML/MIN

60~600ML/MIN

60~600ML/MIN

清洗时间

Plasma time

0~9999分钟可调

0~9999分钟可调

0~99999分钟可调

冷却方式

Cooling mode

风冷

Air Cooling

风冷

Ai Cooling

风冷

Air Cooling

气体通道

Gas channels

二路

Two-way working gas

二路

Two-way working gas

二路

Two-way working gas

真空泵

Vacuum pump

油泵

oil pump

油泵

oil pump

油泵

.oil pump






































小型真空等离子清洗机的产品特点 : 

1、产品主要适用于小规模生产、科学实验;

2、设备外形小巧,结构紧凑,操作简单易维护;

3、引进德国核心等离子体技术 ;

4、进口316 不锈钢材质 , 耐腐蚀 ;

5、进口针阀精密流量控制计 ;

6、两路工艺反应气体通道 ;

7、可根据客户需求定制 。


Characteristics :

• Mainly applicable to small scale production and scientific experiment ;

• Small volume , tight structure and easy to operate and maintain ;

• German core plasma technology ;

• Imported 316 stainless steel material ; corrosion resistant ;

• Imported needle valve precise flow controlling machine ;

• Two - way process reactant gas channel ;

• Customization available 





小型真空等离子体处理设备
JL-V系列小型真空等离子机
产品编号:JL-V系列
产品型号:JL-V02/JL-V05/JL-V10
腔体大小:2L/5L/10L
产品分类:小型真空等离子机
主要适用于:小规模生产、科研及医学等领域
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