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电源、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数均可设定。射频电源（核心器件从美国进口）气体质量流量计为美国进口，模拟量输入输出。测量范围为0-200SCCM，在测量范围内可进行无级调节。针形阀控制工艺气体流量。清洁完成时有提示音反射功率过大报警工艺气体耗尽报警器泵热过载报警反应室泄漏报警器电极采用高通量等离子体结构，牢固可靠，易于拆卸。反应室为矩形不锈钢腔体，电极水平放置，间距可调。

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