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它被称为 O 形环，abs材质附着力不好因为它具有 O 形横截面。锁起来。 O型圈是机械设计中最常见的密封元件之一。主要用于真空等离子清洗机的真空室与其他部分相连接的部位，具有真空室与真空门之间的密封、供给电极与真空之间的密封等密封作用。 .密封腔体、真空腔体和真空管路。 2. 真空等离子清洁器中使用的管道支架密封 管道支架密封是一种用于将外部管道连接到真空等离子清洁器管道的密封件。管道支架密封件通常与真空等离子清洁器相同。

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等离子体与固体表面的反应分为物理反应（离子冲击）和化学反应，abs材质附着力不好等离子体与固体表面的反应又分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理是活性颗粒与被清洗表面碰撞，污染物从表面分离出来，最后被真空泵吸走。化学反应机理是各种活性粒子与污染物反应产生挥发物。物质和挥发性物质被真空泵吸走。

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因此，如果发现等离子体表面垫圈的侧壁蚀刻的主蚀刻步骤的终点监测被暴露，则立即停止蚀刻并切换过蚀刻步骤。主刻蚀步骤中残留的氮化硅膜通过过刻蚀步骤被刻蚀去除，同时停止在氧化硅膜上，以防止损坏下面的硅衬底。过蚀刻步骤通常使用 CH3F 或 CH2F2 和 O2 气体的组合。 CH3F 气体分解为 CHx 和 F. + H。等离子体中的撞击离子会破坏 Si-O 键。

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