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在固体表面上，表面大分子有机物的分子链被阻挡形成小分子，小分子链进一步被破坏形成H2O和CO2，最后分子被汽化，剩余分子变为极性。组产生表面能。因此，等离子清洗的工作过程可视为有机物气化的过程，一般过程可分为四个阶段。 1) 无机气体被激发到等离子体状态。 2）吸附气相物质。在固体表面； 3) 吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子； 4) 产物分子分解形成气相； 反应残留物与表面分离。

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