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腔体等离子体的特点是需要一个封闭的腔体，拉拔法附着力仪电极建在真空腔体内。工作时通过真空泵将腔体内的空气吸出，形成真空环境，然后在整个腔体内形成等离子体并直接处理内部材料表面。这种空腔等离子体的处理效果优于常压等离子体。后续运行成本高，主要原因是其真空泵连续工作耗电量大。此外，设备工作时，在真空环节需要更多的时间，这在要求自动化生产线和加工效率的工业领域具有明显的局限性。大气压光学等离子体技术。

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汽车内饰件植绒产品按其裝饰的部件或植绒部位不同，起到的作用会有所侧重，大致可以分为两种:一种是软化和装饰，使饰件观感、手感更加华丽而舒适，例如仪表板表面、立村护板表面、门板外表面、门框密封胶条、储物箱等;另种是减震、降噪和隔热隔令等功能，如隔音垫、杂物箱、中(央)控制台以及其他内饰件背面。汽车植绒内饰件一般几何形状都不规则，有条状、平面、曲面、箱体等多种。

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-清洗半导体材料晶圆的半导体清洗机：在半导体材料的制造过程中，几乎每道工序都需要清洗，而一轮清洗的质量对设备的性能有着严重的影响。由于循环清洗是半导体制造过程中重要的重复工序，其工艺质量直接影响设备良率、性能和可靠性。国内外各大公司和科研院所不断研究清洗工艺。等离子清洗机作为现代干洗技术，具有低碳环保的特点。随着电光行业的快速发展，等离子清洗机越来越多地应用于半导体行业。

单晶圆低温等离子清洗一般是指采用化学喷淋法对单晶圆片进行化学清洗的低温等离子清洗，相对自动清洗台清洗效率低、产能低，但具备很高的制造自然环境控制力与颗粒消除水平。自动工作台，又称槽式自动清洗设备，是指在化学浴池中同时清洗多个晶圆的设备。其优点是清洗水平高，适合批量生产，但不能达到单晶清洗设备的清洗精度，难以满足当今(顶尖)工艺下整个过程的参数要求。

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