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冷等离子体的物理和技术发生了重大转变，从 1960 年代初期的空间等离子体研究到 1980 年代和 1990 年代的面向材料的研究。微电子科学、环境科学、能源与材料科学等领域快速发展。它给低温等离子体科学的发展带来了新的机遇和挑战。今天，冷等离子体的物理与应用是具有全球影响的重要科学与工程，对高新技术经济的发展和传统产业的改造具有重大影响。

1作者：遇鑫遥，男，1981年生，硕士研究生，主要从事等离子体无害化处理危险废物的应用研究。*中国科学院知识创新工程重要方向性项目1.1电弧等离子体主要特征大气压下的电弧是处于局域热力学平衡（LTE）的热等离子体。处于局域热平衡的电弧等离子体中的电子、离子和其它中性基团具有接近的温度。电弧的能量密度以及电子的密度分别在107-109Jm-3和1022-1025m-3的范围内。

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常用的等离子清洗机处理气体有:压缩空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。。等离子清洗机在清洗过程中配合着不同的气体，其清洗后的效果也是显而易见的。下面我来为大家列出几种比较常见的气体使用。按气体分成：最多使用的气体之一就是惰性气体氩气（Ar），真空腔清洗过程中配合氩气（Ar）往往可以有效得去除表面纳米级污染物。经常应用在引线键合，芯片粘接铜引线框架，PBGA等工艺中。

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