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裹1报.琳腆上峥离子体泉合沉积层的拢扭血性单体丙二烯一N:一H:O混合物TFEHMDS乙烯一N:聚醋膜Ar等离子体处理后的玻璃Liodholm凝固时间(分)11912113414099。6,l最近,这方面的研究已颇为广泛,特别是采用含氟、含硅单体进行等离子体聚合。

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其中，广东等离子表面处理机直销物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。我们的工作气体，经常用到氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）、甲烷（CF4）等。

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