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plasma真空等离子处理设备如何选型金徕几点指南

发表时间: 2021-02-06 16:22:34

作者: 深圳市金徕技术有限公司

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    产生于20世纪初的等离子清洗技术,随着高新技术产业的迅速发展,其应用范围日益广泛,目前已在众多高新技术领域中,占据了关键技术的地位。plasma等离子清洗机技术对工业经济和人类文明的影响挺大的,率先推动了电子信息行业,特别是半导体和光电行业的发展。由于等离子清洗机在越来越多的行业中得到了越来越多的应用,如何选择合适的等离子清洗机就成了人们关心的问题,今天我们来谈谈如何选择plasma真空等离子清洗机。


 在plasma真空等离子清洗机的选择上,我们主要从以下几个方面考虑。


先由腔体尺寸确定等离子清洗机的型号,腔体尺寸主要从以下两方面考虑。


 一、工件尺寸:

一般而言,真空等离子清洗机的分类主要是根据空腔尺寸和空腔材料来划分的,选择空腔尺寸时首先要考虑的是工件尺寸,也就是说,至少要能够将工件放下去,如果工件连放都放不下去,再考虑其他因素也没有多大意义。


二、生产能力:

对于产能要求较高的产品,一定要根据产能选择空腔尺寸,空腔尺寸越大,一次加工的产品越多,如果产能要求不高,则优先考虑工件尺寸。当工件可以放下时,我们可以根据其生产能力计算出合适的空腔尺寸。

 我们要考虑的第二个问题,是选择什么频率的等离子清洗机。


 频率选择:

现在通常使用的频率有40KHz和13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏压为1000V左右,13.56MHz自偏压为250V左右,20MHz的自偏压则更低,这三种激发频率的机制不同,40kHz发生的反应为物理反应,13.56MHz发生的反应既有物理反应又有化学反应,20MHz有物理反应但更主要的反应为化学反应。


空腔材质选择: 现在常用的腔材料有以下几种:石英腔、不锈钢腔、铝合金腔,这三种腔各有优点,石英腔温度较低,而且不容易发生反应。铝型材的优点:一、铝型材密度低,强度高,优于钢,具有较好的机械加工性能。铝具有良好的导电、导热和抗腐蚀性能。材料对化学反应的兼容性较好,不易产生金属污染,不会产生污染等。

 真空泵选择:到底是选用国产的,还是进口的,是干泵还是油泵,是单级泵,还是双极泵,每种真空泵的选择都可以根据客户的实际需要而定,在此不再赘述。 气路选择:

 一般真空等离子清洗机都是两路气路,但这不能满足所有的处理要求,如果需要更多的反应气,则气道要适当增加,这也是根据用户的实际需要,选择多路气路。


plasma真空等离子处理设备如何选型金徕几点指南
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