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金徕-等离子清洗机

发表时间: 2020-12-26 15:56:42

作者: 深圳市金徕技术有限公司

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     JL- 035紧凑型、桌面式配置等离子处理设备

  JL-035是特别设计的均匀清洗和处理的等离子设备,具有易操作性强、可靠性高、低成本的优点。AP-300是完全独立的系统,需要很小的空间。等离子腔体、控制设备、13.56MHz的等离子发生器和

  自动匹配网络都安装在底盘上,一个连锁的门和面板提供了维护通道。等离子腔体由耐用的高品质铝

  做成的,并且带有铝支架。腔体里有最多达7个可移动的、可调整的电源极或接地极支架,以适应更款

  范围的器件、组件或工装Magazines、Trays或Boats。

  清洗、表面活化、改善粘性

    JL-035系统适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善粘性等应用,倍广泛应用在半导体器件制造、微电子封装和组装、医疗设备器件和生命科学器件的制造等。AP-300适合多种工艺气体,例如Ar、O2、H2、He及氟化合物气体,通过2个(标准配置)气体质量流量控制器控制气体的标准,系统还可以

  选配2个气体质量流量控制器来提高系统的控制性能。

  半导体和微电子应用举例:

  * 粘片前进行处理,提高芯片附着力;

       * 键合前进行处理,提高键合强度;

  * 塑模和封装前进行处理,减少封装分层;

  * Flip chip采用underfill工艺底部填充前进行处理,可以提高填充速度、减少空洞率、增加填充高度及一

  致性、增加填充物的附着力。

  设备功能:

  * 触摸屏控制及图形用户界面,提供实时过程显示;

  * 灵活的支架,具有适应多种器件、组件及工装的能力;

  * 带有自动匹配网络的13.57MHz的RF发生器,保证设备优异过程一致性;

  * 设备满足简便的定期校准需要。


金徕-等离子清洗机
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