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等离子设备如何保养方法方式

发表时间: 2020-12-24 16:11:19

作者: 深圳市金徕技术有限公司

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                                                      等离子清洗机保养

     1、检查电源连接

  电压是否与设备匹配

    (设备的电压为220V)。

      2、检查输气管道的完整性及真空密封性

  定期检查真空系统的完整性,这种检查应该在彻底的清洗反应室之后,以避免污染物遗漏在腔体中。

   定期检查反应腔体门密封条是不是松动。

  检查各管路是否连接紧固,老化等问题。

       3、清洗反应腔室

  首先脱脂棉布沾无水乙醇(俗称酒精)擦拭(不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃)真空腔体。

  其次腔体导入(氩气+氧气)或(氮气+氧气),用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟,每月至少一次。

       4、定期检查真空泵油

  每月定期查看真空泵油位和油的纯度,观察油位视窗,油位接近最低红线刻度时,则添加到油红标线上下之间位置;观察油的颜色,正常的油为清洁透明,当油出现浑浊(油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清)、真空泵噪        音异常,则及时更换真空油。



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