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Plasma等清洗机,等离子体刻蚀机,真空等离子

发表时间: 2020-12-22 11:26:29

作者: 深圳市金徕技术有限公司

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 1. 紧凑台式设备、没有RF放射、符合CE安全标准。

  2. 功率为低、中、高三档可调

 低功率档  30W

 中功率档  38W

 高功率档  45W

 低功率档功率相当于PDC-002 扩展型等离子清洗机的高     功率档设置

 3. 高功率型:

 - 自动风扇冷却

  - 集成真空泵开关

  - 清洗腔:长6.5英寸,直径6英寸,腔盖具有铰链和磁力锁, 可视窗口,可拆卸;

  - 1/8NPT针孔阀控制气流及腔体压力;

  - 整机尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D;

  - 重量:37 lbs;

“半导体真空等离子/

  4. 选配件

 - 真空检测计;

  - 气体流量混合器;

 - 石英样品托盘;

  - 真空泵;

 应用案例 

  图为:两种工艺气体混合等离子清洗

 图上:气体流量混合器

  均匀混合两种工艺气体浓度,根据                          工艺气体流量的大小同时实时检测                          清洗腔体真空度的浓度

  图下:PDC-002-HP等离子清洗机

  应用

 等离子清洗机除了具有超清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能。等离子体作用于材料表面,使表面分子的化学键发生重组,形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料,在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

 参考客户:

 兰州大学  郑州大学 上海交通大学 上海复旦大学 合肥工业大学 成都电子科技大学 北京大学  清华大学医工所  兰州化物所 中科院纳米所 香港科技大学等等

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Plasma等清洗机,等离子体刻蚀机,真空等离子
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