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等离子清洗机系统

发表时间: 2020-12-22 10:17:05

作者: 深圳市金徕技术有限公司

浏览:

广东金徕科技有限公司,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。

  用途:

 金徕等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。

  金徕等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于高科技生产单位的以下场合:

  半导体开发、集成电路开发、真空电子行业、生命科学实验等等。

 金徕等离子清洗/刻蚀机具有以下特点:

  可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

 等离子系统能够以不同的形式进行整合,例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与Femto 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Femto 等离子系统主要应用于以下领域:

  分析

 考古

  汽车行业

  研究和开发部门

  半导体技术

 小批量生产

  塑料技术

  医疗技术

 微系统技术

  传感器

  灭菌

 纺织技术

 技术参数:

 系列

  Femto

  控制系统

  半自动型

 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

  PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

  体积

  1.9~6L

  真空腔室

 圆形不锈钢件,配有盖子

 (大约Φ100 mm, 长 278 mm 或者长 600 mm)

  (约宽 103 x 深 285 x 高 103)

  配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门

  (大约Φ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm)

  配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门

 (大约Φ95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm)

 配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门

 (大约Φ 95 mm,长 280 mm 或者长 600 mm)

 电极

  单层或多层

  RIE

 样品支架

 (选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

 气源

  针型阀

  质量流量控制器 (MFCs)

 压力计

  Pirani

 Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

 计时器

  数字型

  高频电流发生器

  40 kHz: 功率 0 - 100 W;0 - 1000 W

 13.56 MHz;功率 0 - 50 W;0 - 300 W

 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W

 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

 真空泵

 KASHIYAMA

 电源

 供电电源:台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

 备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。

“FPC等离子清洗机/

等离子清洗机系统
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