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常用氧气+氩气等离子清洗机

发表时间: 2020-12-21 14:34:00

作者: 深圳市金徕技术有限公司

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 等离子清洗机使用的气体,工艺参考配方:常用氧气+氩气,根据清洗材质的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体,不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的,活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。                                        

         氧气(Oxygen,O2):清洗方式:物理+化学

    氮气(Nitrogen,N2):清洗方式:物理+化学

  二氧化碳(Carbon,CO2):清洗方式:物理+化学

氩气(Argon,Ar):清洗方式:物理

 压缩空气(Compressed Air,CDA):清洗方式:物理+化学

   使用等离子清洗,可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成,因此具有产率高的特点;

 容易采用数控技术,自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;

 正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。

  等离子处理过程为一种干制程,相对于湿制程来说,其具有诸多的优势,这是等离子体本身特征所决定了。由高压电离出的总体显电中性的等离子体具有很高的活性,能够与材料表面原子进行不断的反应, 使表面物质不断激发成气态物质挥发出去,达到清洗的目的。其在材料表面处理过程中具有很好的实用性,是一种干净、环保、高效的清洗方法。


常用氧气+氩气等离子清洗机
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