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大气等离子与 真空等离子的区别

发表时间: 2020-11-13 18:08:25

作者: 深圳市金徕技术有限公司

来源: 原创

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“大气等离子清洗机/               

大气等离子清洗机跟真空等离子清洗机区别

⑴大气等离子清洗机:

一般采用空气作为生发气体。特点是气体的需求量非常高,工业应用上常用中频作为激发能源,频率在39KHZ左右。

等离子工作形态以直喷跟旋转两种比较常见。设备工作过程中会产生超标的臭氧与氮氧化物等对人有害的气体,所

以必须要配套废气排放系统一同工作。因为特性,大气等离子主要适用于对处理效果要求高,并且后续运行成本低

的行业,例如手机盖板,手机保护膜等行业。

⑵真空等离子清洗机:

主要分为两种,即腔式和大气压式,此两种等离子技术均为直接式等离子。腔式等离子的特点是需要一个封闭的腔体,电极内置于真空腔体中,工作时首先用真空泵将腔体内空气吸出形成真空环境,然后等离子在整个腔体中形成并直接对在内的材料进行表面处理。此种腔式等离子的处理效果要优于大气等离子。后续运行成本较高,主要是因为其真空泵连续工作的功耗较大。另外设备工作时在真空环节需要的时间较多,对采用自动化生产线及要求处理效率的工业领域来说,局限性比较明显,大气压光式等离子技术。RF射频作为激发能源,工作频率是13.57MHZ。采用氩气(Ar)

作为发生气体,氧气或者氮气作为反应气体。


大气等离子与 真空等离子的区别
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