JL-VM系列工业真空等离子
产品编号:JL-VM系列
产品规格: 真空等离子体清洗机
产品用途:等离子表面活化、改性、去污,增强粘接性.
适用范围:玻璃,金属,朔料,碳材料活化.
产品选型:
型号 | JL-VM-060 | JL-VM-110 | JL-VM-150 | JL-VM-200 |
腔体材质 material | SUS316 | SUS316 | SUS316 | SUS316 |
容量 volume | 60L | 110L | 150L | 200L |
外形尺寸MM layout | 950*1000*1800 | 1050*1000*1800 | 1100*1100*1800 | 1300*1200*1800 |
腔尺寸 MM cavity size | 400*450*400 | 500*450*500 | 500*500*600 | 500*600*700 |
电源频率 frequency | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz/40KHz |
真空度 vacuum | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa |
气体流量 Gas flow | 0~500SCCM | 0~500SCCM | 0~500SCCM | 0~500SCCM |
清洗时间 Plasma time | 0~100分钟可调 | 0~100分钟可调 | 0~100分钟可调 | 0~100分钟可调 |
冷却方式 Cooling mode | 风冷 Air Cooling | 风冷 Ai Cooling | 风冷 Air Cooling | 风冷/水冷 Air Cooling/Water Cooling |
气体通道 Gas channels | 二路 Two-way working gas | 二路 Two-way working gas | 二路 Two-way working gas | 二路 Two-way working gas |
真空泵 Vacuum pump | 油泵+罗茨 Oil &roots pump | 油泵+罗茨 Oil &roots pump | 油泵+罗茨 Oil &roots pump | 油泵+罗茨 Oil &roots pump |
等离子清洗机一般说明
JL-VM系列我公司设计的真空等离子清洗机是一个大容量的清洗设备,具有多用途的机械系统,它广泛应用于活化,退镀,改性,蚀刻,提升附着力和清洗等等功能。该设备也是最环保,最节能,有效性好的理想设备.
主要功能
蚀刻:对于光致抗蚀剂聚酰亚胺的残留和以硅化物为基本成分的涂层等材料的清除很有用
粘附提升:往基质上添加活化能力强的化学基团以提高其粘合剂的黏着度。
清洗:清除材料上的光学物质的污染以及清除有机物残留,氧化和金属盐等对材料的污染。
活化:能使处理基材表面生成所需化学极键;
退镀:使被处理基材除去金属等材料,制作各种产品。
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